Миниатюрные тензодатчики — это прецизионные устройства-измерения силы, разработанные на основе технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Их основной технологический прорыв, относящийся к категории микроэлектромеханических устройств, заключается в наномасштабной оптимизации полупроводниковых пьезорезистивных чувствительных элементов.
Миниатюрные датчики веса в первую очередь обеспечивают измерение путем генерации электрических сигналов посредством механической деформации миниатюрной диафрагмы. В основном компоненте используется тензодатчик MEMS. Эти датчики могут быть миниатюризированы до нескольких миллиметров и весить всего несколько граммов. В технологии композитной упаковки используется двухслойная структура из силикона-металла-, обеспечивающая защиту от влаги и пыли и контролирующая температурный дрейф в пределах ±0,005 %/градус.
Миниатюрные тензодатчики делятся на два основных типа: миниатюрные датчики давления и миниатюрные акселерометры. Их можно интегрировать в интеллектуальные носимые устройства (например, функции контроля веса в умных часах), бытовую электронику (например, чувствительные к давлению кнопки на смартфонах), системы взвешивания промышленных производственных линий, измерения упаковки, дозирования материалов и медицинское оборудование (например, системы обратной связи по совместной силе в хирургических роботах), расширяя границы применения датчиков веса.